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激光分子束外延设备(无)
中国石油大学（北京）
中科院物理所，I型
北京市
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行业专用仪器

分析仪器

检测范围

制备高熔点的氧化物、 III-V族化合物薄膜及 超晶格材料

仪器参数

激光器输出波长：248 nm,脉宽 20 ns,最高能量 400 mJ; 基底最高温度 800 摄氏度；最高真空度 10-5 Pa; 4靶系统；带有高氧压RHEED监控系统
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