复合多功能离子镀膜设备
华南理工大学
成都同创材料表面新技术工程中心,PVD-PECVD-600PVD-PECVD-600
广东省
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检测范围

磁控溅射离子镀膜、多弧离子镀膜及PCVD制备各种复合涂层

仪器参数

真空室内腔尺寸暂定为?600mm?450mm;极限真空优于8×10-5Pa;铠装不锈钢加热管加热,最高加热温度350度;孪生靶磁控溅射沉积TiN涂层的沉积速率1um/h等。

仪器特色&服务特色

服务机械学系,以及机械工程领域
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