检测范围
蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料.适用于薄膜晶体管器件的制备和封装.
仪器参数
- 热蒸发源：4英寸或6英寸- 热蒸发舟，交流电源；
- 腔体：铝合金或不锈钢材料可供客户选择，不同尺寸的箱式腔室可选；
- 泵：机械泵，扩散泵或者分子泵，供客户选择；
- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底；
- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制，使用GUI进行工艺控制、数据处理、远程支持；
- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；
- 衬底固定：单衬底固定，多衬底固定，行星式衬底固定，客户化衬底固定方式；
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