双束工作站-测试100仪器共享平台

双束工作站
所在单位：	中山大学
品牌/型号：	Carl Zeiss公司，Auriga/SEM成像分辨率:1.0nm@15kV
所在地区：	广东省
仪器说明：	我们目前尚未与中山大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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分析仪器

仪器介绍

检测范围

纳微结构的形貌，刻蚀，沉积，链接。TEM样品制备，阴极射线发光，材料操控，X-射线电子能量色散谱，纳微材料微弱电流测试

仪器参数

SEM成像分辨率 1.0nm@15kV
1.9nm@1kV SEM成像放大倍率 12×~100k× 电子束最大束流100nA 连续可调能谱仪能量分辨率 129eV
FIB成像分辨率 <2.5nm@30kV
FIB放大倍率 300×~500k×
离子束加速电压 1.0~30kV
离子束流强度 1pA-50nA

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