散射式近场光学显微镜(Scattering near-field microscopy)
中山大学
Neaspec GmbH,NeaSNOM/样品台XY范围=15mm,定位精度200n
广东省
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检测范围

近场光学表征

仪器参数

样品台XY范围=15mm,定位精度200n;样品扫描范围:100μm×100μm×3μm;XY非线性度:0.1%;ZXY方向噪声水平:0.2nm
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