超高分辨场发射扫描电子显微镜
中山大学
日立高新技术公司,SU8010/分辨率1mm/电压0.5-30kv
广东省
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检测范围

固体材料的形貌测试

仪器参数

二次电子分辨率:1.0 nm (加速电压 15 kV、WD=4 mm)
1.3 nm (着陆电压 1 kV、WD=1.5 mm),放大倍数(高倍模式):100-800,000×(照片倍率),400-2,000,000×(实际显示倍率)

仪器特色&服务特色

支撑国家重点实验室申报、2011协同创新中心组织、“973”等重大研究计划实施的重要设备,发表三大检索论文多篇
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