迴旋式强流等离子体表面改性沉积仪(Cyclotron high current plasma surface modified deposition instrument)
中国地质大学(北京)
沈阳科友真空技术有限公司,试制
北京市
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检测范围

等离子体增强磁控溅射

仪器参数

带等离子体增强组件(放电电流不小于12A)
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