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离子束辐照装置(Is improving)
清华大学
中科院沈阳科仪公司，FJL-5600
北京市
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检测范围

直流溅射、射频溅射

仪器参数

1、极限真空度：≤6.67*10-5Pa(经烘烤以后)2、系统真空检漏漏率：：≤5.0*10-7Pa.L/S?3、系统经大气抽气，40分钟可达到6.6*10-4Pa4、停泵关机12小时后真空度：≤5Pa

仪器特色&服务特色

清华大学材料学院李正操研究组
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