检测范围
样品可以不暴露大气压进行半原位测量
仪器参数
真空度5×10^(-8) PaX射线源射线能量：1486.6 eV (Al Kα line), 1253.6 eV (Mg Kα line)；能量半高宽：0.85 eV (Al Kα line), 0.70 eV (Mg Kα line)。电子源电子能量：100 eV – 5000 eV；能量半高宽 ：0.4 eV；最小束斑：约1 mm (直径)；最大输出电流：约64 uA；电子能量分析器能量范围：0 - 2000 eV?
仪器特色&服务特色
样品表面分析
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