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准分子激光器(Is improving)
清华大学
Coherent，COMPexPro205
北京市
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检测范围

大功率深紫外激光器，用于PLD双路共溅射。可衰减使用，输出功率可调。

仪器参数

波长248nm；脉冲能量700mJ；平均功率30W；脉冲宽度25ns；重复频率50Hz

仪器特色&服务特色

清华大学类脑计算研究中心
清华大学微电子所
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