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镀膜机(Vacuum coating machine)
合肥工业大学
沈阳四达真空技术应用研究所，*,*
安徽省
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检测范围

适用于有机光电器件的研究，可热蒸发、电子束沉积各种高纯度有机、金属薄膜，并可在惰性气体环境下进行所制备器件的封装。

仪器参数

1、多真空腔室，两侧与手套箱连接。
2、极限真空：5×10-7Torr；工作真空：5×10-6Torr。
3、坩埚式热蒸发源8个，舟式热蒸发源5个，电子束蒸发源4个。控温精度±1℃。
4、有效沉积区域≥120mm×120mm，区域内膜厚均匀性优于2%。
5、手套箱为3工位，水氧指标≤1ppm，泄漏率≤0.05Vol%/h。

仪器特色&服务特色

有机光电器件制备
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