半导体特性分析仪
西安交通大学
KEITHLEY,I-V,C-V4200-SCS/82-WIN
陕西省
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4200-SCS含内置式WindowNT操作系统,交互式测试环境(KITE)支持多探针台和高频及准静态CV测试,用前置放大器,SMU可分辨到100aA电流,4200-590CV仪可测100KHz和1MHz的CV特性,方便多种半导体MOS/MS结构相关工艺参数的测试 半导体材料(掺杂浓度分布、杂质浓度)、半导体
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