多功能扫描探针显微镜
中国科学院上海硅酸盐研究所
日本精工纳米科技株式会社,SP13800N
上海市
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检测范围

薄膜等新材料的微小区域三维成像包含AFM(原子力显微镜)、STM(扫描隧道显微镜)、MFM(磁力显微镜)等近十个功能模块
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