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场发射扫描电子显微镜SU8220
中国科学院上海硅酸盐研究所
日本日立公司，SU8220
上海市
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检测范围

低加速电压下具有较高分辨率，减少电子束轰击对样品的损伤，减少不导电样品的荷电现象，在低加速电压下获得较高衬度的背散射信号。有利于分析多相纳米材料，介孔材料等。
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