检测范围
Raith150 Two曝光机具有束位置精度高和束电流的稳定性的特点，可以进行高分辨曝光。辅助功能有三维图形曝光和掩模版制作。
仪器参数
Beam energy range：100 V to 30 kV in 10 V steps.
Beam current range：Selectable between approximately 5 pA – 20 nA.
Beam blanker ：200 kHz repetition frequency in continuous operation.
仪器特色&服务特色
发表三大检索论文60篇，科研项目50项，教学实验项目数1项，国家级奖项1项
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