检测范围
μPG501是一款非常经济，方便使用的细微图形刻画激光直写掩膜板制造设备，包括二极管激光器，激光干涉仪，声光调制器，投影光刻物镜，自动聚焦装置，工作台，alignment 用照相机，显示器，照明光源，工作台，控制计算机，基于MS Windows系统的控制软件等，支持多种图形格式（
仪器参数
具备375nm的LED直写头,刻写最小尺寸结构是1 μ m ，可以达到50 mm2 /min 的书写速度。设备可应用于MEMS，BioMEMS，集成光路，微流体应用以及其他需要高精度分辨率的微观结构应用领域。
仪器特色&服务特色
发表三大检索论文3篇
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