检测范围
入射角范围（40°-90°）：光谱范围：190-830nm；样品尺寸：最大8寸分辨率：500nm处优于2nm；样品台Z向调节范围：0-4mm。椭偏谱仪是一种非常灵敏的、通过测量椭圆偏振光经过样品反射后以变化而推算出样品厚度，折射率及其它性质的科研设备，广泛用于传统薄膜研究。
仪器参数
入射角范围（40°-90°）：光谱范围：190-830nm；样品尺寸：最大8寸分辨率：500nm处优于2nm；样品台Z向调节范围：0-4mm。
仪器特色&服务特色
平台承担的开放课题和各研究组自行承担的课题,每年培训10-20名博士和硕士研究生
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