原子层沉积系统-测试100仪器共享平台

原子层沉积系统(ATOMIC LAYER DEPOZITION SYSTEMS)
所在单位：	北京大学
品牌/型号：	Cambridge Technology，Savannah
所在地区：	北京市
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Input Voltaye：100-120VAC。通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔使之在基体上化学吸附并反应形成沉积膜的一种技术，可以以单原子膜形式一层一层地在基底表面沉积薄膜。

Input Voltaye：100-120VAC。

科技部纳米专项项目2011CB933000,博士4人，硕士3人

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