检测范围
场发射扫描电子显微镜可以用于材料的形貌观测、材料加工监控、材料结构分析等。
仪器参数
1、加速电压15V，显示放大220K，工作距离4.0mm时分辨率1.0nm
。
2、加速电压1KV，工作距离1.5mm时分辨率2.0nm。
3、真空系统：电子枪＜10↑-7Pa；第一级中间真空室＜2×10↑-6Pa；第二中间真空室＜10↑-5Pa，本仪器对系统真空度要求高，适合测试导电样品。
仪器特色&服务特色
1.狄拉克材料的光热电转换与新概念器件 纳米重大研究计划 2013CB932603 2013-2017 2.表界面纳米工程学 国家自然科学基金委创新群体 51121091 2012-2014 3.石墨烯基材料的应用研究 重大科学研究计划 2012CB933404 2012-2016 4.基于Dirac费米子系统的新型器件的物理原理研究与应用探索 973计划-量子调控研究 2011CB921904 2011-2015
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