扫描电镜/聚焦离子束电镜系统
华中科技大学
美国FEI公司,Quanta3DFEG
湖北省
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检测范围

物理学,材料科学,能源科学技术

仪器参数

1.工作模式:高真空、低真空、环扫共三种模式;2.放大倍数:30倍—128万倍;3.分辨率:电子束1.2nm(工作电压30kV);离子束5nm;4.加速电压:0.2Kv—30Kv;探针电流:电子束可持续调节,高达200nA;离子束1pA-65nA;能谱:探测元素范围B5-U92,能量分辨率:136eV。

仪器特色&服务特色

北大彭练矛Science文章
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