检测范围
表面轮廓综合测量仪用于精密工程表面，包括平面、球面、非球面和自由曲面粗糙度、波纹度和形状的测量、分析，适合对制件表面质量评价和工艺分析。
仪器参数
测量范围：X：200mm；Z：8mm；Y：200mm；测量精度：分辨率0.8nm/8mm；Z轴非线性度：0.07+0.03Z[mm]；角度：≤0.5min；半径：0.1-80mm1-0.005%；80-1000mm0.005%-0.1%；1000-2000mm0.1%
仪器特色&服务特色
参与项目：国家支撑计划国际标准制定项目任务“线性轮廓滤波－样条小波”，湖北省自然基金重点项目“三维表面形貌综合测量分析与评定研究”，863重点项目“微纳三维测量技术与装置子项目——精密表面形貌测量”等。
分享
