磁控离子束溅射双室薄膜制备系统(Magnetronsputteringandionbeamdepositionsystem)
华中科技大学
沈阳科仪,非标定制设备
湖北省
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检测范围

开发纳米级的单层及多层功能膜和复合膜

仪器参数

系统暴露大气后5分钟并充干燥氮气开始抽气:离子束溅射室30分钟可达到6.6x10-4Pa;离子束/控溅射室:系统停泵关机12小时后真空度:≤5Pa;1.600w全自动匹配射频电源及匹配器2.数字式500w直流电源3.数字式-200v偏压电源
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