检测范围
本超净间主要为半导体材料和器件的制备、测试等提供净化环境。
仪器参数
1.镀膜区域的超净标准为千级；；2.光刻区域为百级净化（空气中粒径大于等于0.5μm的尘埃浓度不大于0.35粒/L）；；3.有3个全排的通风柜，在通风柜全开的情况下，仍需保持房间的正压（＞15Pa）和温度稳定；；4.温度控制要求24小时内可稳定保持在正负1摄氏度（湿度不超过50%）；；5.对于危险气体有监控设备；；6.门禁：大门和实验室入口；；7.有参观走廊，窗户做成密封可视窗户。
仪器特色&服务特色
高性能石墨烯器件与电路的批量制备与优化（与北京大学合作）（2014年）；高性能二硫化钼晶体管的界面调控与电输运化（2015年）；华为公司石墨烯射频器件研究项目（2016年）；省科技厅高性能二硫化钼晶体管的界面（2016年）
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