纳米微影压印机(NANOIMPRINTLITHOGRAPHYINSTRUMENT)
华中科技大学
瑞典OBDUCATTECHOLOGIESAB,EITRE3
湖北省
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检测范围

纳米级图形制作;混合集成键合工艺制作

仪器参数

最高温度:250℃;最高压力:60Bar;基片尺寸:小于3inch;制作图形分辨率:20nm

仪器特色&服务特色

DFB激光器光栅制作;GaN基LED光子晶体图形制作;铝金属光栅偏振分束器制作;蓝宝石图形衬底制作
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