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探针测试台(Probestation)
华中科技大学
美国CASCADE公司，SUMMIT11000
湖北省
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检测范围

提供可屏蔽光及电磁波干扰的密闭环境，能够轻松实现IV/CV测试，同时为测试漏电值等也提供可靠的保障。

仪器参数

1)6”手动探针台，移动范围达150mm*150mm或以上；2）载物台可被拉出工作台超过98%，便于放置被测件；平坦度误差优于25um；3）载物台可分区吸附样品，并具备各分区独立真空控制开关，真空吸附样品采取真空孔形式，而非环形真空槽形式4）屏蔽箱提供EMI/EMC/RFI良好屏蔽及遮光作用

仪器特色&服务特色

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