检测范围
该系统可以对诸如单切晶片至150mm晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的进行精密的电测量
仪器参数
基座基本尺寸含升高板的尺寸面积Z轴可移动范围；标准平台675mmx675mm825mmx675mm1960cm25.5mm；多功能平台825mmx675mm847mmx758mm2700cm2；X-Y-θ平台XY范围最小步长θ范围晶圆范围；真空运行平台155mmx155mm3μm+/-60°;70mm；标准平台155mmx155mm2μm+45°(CCW),-90#176;(CW)250mm；快速运行平台155mmx155mm1μm+45°CCW),-90°;(CW)275mm
仪器特色&服务特色
863项目：抗热串扰、低电流高密度相变存储材料与器件关键技术
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