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电镜制样系统(PrecisionIonPolishingSystem)
华中科技大学
*，GATAN-691-682-656
湖北省
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检测范围

扫描电镜导电、精密微刻前处理。透射电镜样品减薄前处理

仪器参数

682:喷镀束能电压：0-6kev。快速喷镀C≈0.5Ac；刻蚀.691:离子枪：电压0-6kev；双离子源：两个penning离子枪；离子枪转角：±10°。

仪器特色&服务特色

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