原子力显微镜系统(AtomicForceMicroscopySystem)
华中科技大学
沈阳科学技术有限公司,ALD-200
湖北省
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检测范围

为实验室提供原位研究ALD生长机理的可能。

仪器参数

1.ALD腔体最高温度可以达到400摄氏度;2.腔体极限真空度可以达到10的副5次方以下。

仪器特色&服务特色

研究不同气氛下,ALD过程中的表面行为
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