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纳米粒子沉积系统(Nano particledepositionsystem)
华中科技大学
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，NMCJ-450
湖北省
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检测范围

适用于多种材料的功能薄膜如金属及合金薄膜、氧化物薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、铁磁薄膜、磁性薄膜等的研制开发。

仪器参数

产生室极限真空度6.6×10^-5Pa，本底真空度6.6×10^-4Pa；过滤室极限真空度6.6×10^-4Pa，本底真空度1.0×10^-3Pa；沉积室极限真空度2.0×10^-5Pa，本底真空度6.6×10^-4Pa；样品台加热500度。
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