光学轮廓仪(NT 1100ProfilerBaseSystem)
华中科技大学
Veeco,WykoNT1100
湖北省
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检测范围

应用于早期硅工艺的表面表征

仪器参数

10倍Nikon物镜(工作距离:49.5mm;数值孔径:0.2;分辨率:1.6μm)。
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