检测范围
对固体材料特别是薄膜、纳米结构材料进行表面分析。
仪器参数
（1）测定模式标准：接触、动态、相位（2）选配模式：力调制、电流、磁力（MFM）、表面电位（KFM）、水平力（LFM）（3）分辨率：水平0.2nm垂直0.01nm（4）最大扫描范围（X/Y/Z）：30μm#215;30μm#215;5μm（标准）125μm#215;125μm#215;7μm（选配）55μm#215;55μm#215;13μm（选配）（5）最大样品形状：24mm#215;8mm（6）样品装载方式：头部滑动机构（7）分束器滑动机构：内置在AFM头内
仪器特色&服务特色
高性能石墨烯器件与电路的批量制备与优化（与北京大学合作）（2014年）；高性能二硫化钼晶体管的界面调控与电输运化（2015年）；华为公司石墨烯射频器件研究项目（2016年）；省科技厅高性能二硫化钼晶体管的界面（2016年）
分享
