检测范围
该超声原子力模量成像分析仪主要涉及微观材料力学、表面形貌测量等领域，能够实现较大的尺度范围内同时对材料表面形貌和弹性性能分布进行表征。其主要应用是在微小零件研发中用于测量工作，研究材料的微观形貌和力学性能之间的关联。
仪器参数
可实现超声原子力显微成像分析，并可实现空气环境中接触式AFM/LFM/共振模式(半接触+非接触AFM)测量/相位成像/力调制(粘弹性)/MFM/EFM/附着力成像/AFM光刻力/延伸阻力成像(SRI)/AFM光刻电压/扫描电容成像(SCI)/扫描Kelvin探针显微成像(SKM)。；定位样品范围5×5mm,定位精度5μm。水平方向扫描范围为90×90μm，Z向范围为3.5μm。连续缩放视频显微镜，数值孔径达到0.1，放大倍率最高1050倍，视野范围0.37mm到4.5mm可调。
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