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表面形状轮廓分析系统
中国科学院长春应用化学研究所
KLA & Bruker，P7 & Ellite I
吉林省
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检测范围

分析样品表面大尺寸三维形貌，探测样品厚度

仪器参数

纵向分辨率：0.1nm，扫描范围100mm*100mm

仪器特色&服务特色

微米级压印后材料表面的三维形貌，有图案的薄膜的厚度
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