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金属薄膜溅射仪
深圳大学
科特莱思科公司，PVD75Pronline
广东省
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检测范围

二维原子材料生长专用金属薄膜溅射仪是一种磁控溅射镀膜仪，可进行各种金属与非金属材料膜层的溅射沉积，并可控制沉积膜层的速率和厚度。

仪器参数

1.3台溅射靶枪，靶材尺寸为3英寸；
2.最高550℃样品台加热，PID控温，控温精度±1℃；
3.适合基片最大尺寸6英寸，并配置气动基片挡板；
4.两路质量流量计控制进气，最大流量为100sccm，通过电容式薄膜规压力设定自动调节进气量，流量精度为量程的1%。
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