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高品质石墨烯设备
深圳大学
AIXTRON LTD，BM PRO 4INCH
广东省
我们目前尚未与深圳大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

目前国内外生长研究用于说石墨烯和碳纳米管材料的基本设备，尤其是在新型层状二维纳米材料领域，稳定可靠的材料获得是研究的基础。

仪器参数

1.等离子增强和热耦化学气相沉积生长方式兼容，对生长基底具有等离子体预清洁功能；
2.反应腔室有4英寸；
3.温度可达1200℃，升温速率可达300℃/分钟，基底表面温度均匀性5%以内，且生长基底表面温度可以通过红外系统控制或监测；
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