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高分辨电子束成像曝光机(ULTRA HIGH RESOLUTION ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY AND SEM IMAGING)
所在单位：	深圳大学
品牌/型号：	Raith Asia Ltd，PIONEER TWO
所在地区：	广东省
仪器说明：	我们目前尚未与深圳大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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高分辨电子束曝光，实现最大2英寸，

加速电压为0.2kV-30kV。
束电流范围：5pA ~20nA
在加速电压为20kV时，最小束斑尺寸≤1.6nm
束流可长时间稳定，实验室温度波动± 0.5℃的情况下，束电流稳定性≤ 0.5%/ hour。
成像放大倍数满足20 ~ 1,000,000倍。
系统可处理样品尺寸≤ 2inch。

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