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扫描电子显微镜
深圳大学
日本技术株式会社，JSM6490
广东省
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检测范围

材料形貌测试

仪器参数

分辨率： 小于3.0nm (30kV，高真空，钨灯丝，二次电子);
　　小于4.0nm(钨灯丝，背散射电子);
　　加速电压最小范围：0.5～30KV， 10V/步 ;
　　放大倍数范围：20～300,000 倍;
　　真空系统：高真空度：1.5×10-3Pa;低真空度：6～270Pa;
　　电子束扫描控制： 扫描模式：点、线、面、选区;
　　能谱仪Si(Li)探测器：分辨率优于133eV;
　　能谱探测器的有效面积：10mm2;
　　能谱元素分析范围：B5～U92。
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