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真空蒸发镀膜仪
深圳大学
英国Kurt J. Lesker Company，Nano 36
广东省
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检测范围

真空蒸发镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术。该设备被广泛应用于在基底上制备均匀材料薄膜，从而对基底表面进行改性

仪器参数

系统的极限压强可达≤2x10-7Torr;三组热阻蒸发源;?可储存100个工艺，1000层，50种薄膜;最大转速可达20转/分钟;最高加热温度不低于350℃
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