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原子力显微镜
深圳大学
韩国Park SYSTEMS，XE15
广东省
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检测范围

测试基底表面形貌 制备微纳结构

仪器参数

1.2接触式
1.3轻敲式
1.4横向力模式（LFM）
1.5力-距离曲线（F-D）
2.1闭环平板扫描器
2.2 XY扫描范围：100um×100um
2.3分辨率：闭环0.2nm，开环0.01nm
2.4 Z扫描范围：12um，分辨率：0.001nm
工作范围：12um（噪音水平0.03nm）
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