磁控溅射镀膜机
深圳大学
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,K14-406
广东省
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检测范围

溅射金属电极

仪器参数

极限真空度小于5.1*10-6Pa
加热温度 600度
直流电源 1500w
射频电源 1000w
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