检测范围
扫描电镜是一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。其基本原理是用极细的电子束在样品表面扫描，将产生的二次电子用特
仪器参数
分辨率：1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)
放大倍数：低放大倍数模式 20-2,000x
高放大倍数模式 100-800,000x
电子束系统：ZrO/W 肖特基电子枪
电流 1pA-100nA
加速电压 0.5-30KV(标准模式)
着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式)
透镜系统：3级电磁线圈系统
物镜光阑：4孔光阑,真空外选择和细调
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