准分子激光器-测试100仪器共享平台

准分子激光器
所在单位：	深圳大学
品牌/型号：	德国Coherent Inc，COMPexpro205
所在地区：	广东省
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准分子激光（英文：Excimer laser）是一种紫外气态激光，处于激发态的稀有气体和另一种气体（稀有气体或卤素）结合的混合气体形成的分子，向其基态跃迁时发射所产生的激光，称为准分子激光。准分子激光属于低能量激光，无热效应，是方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激

能量：200mJ—750mJ
频率：0.5Hz—20Hz

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