检测范围
半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平。该电镜在低加速电压（1 kV）下的二次电子图像分辨率为2 nm，这有利于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800的主要附件为X射线能谱仪。利用S-4800和X射线能谱仪可以在观察样品表面微观形貌的同时进行微区成分定性和定量以及元素分布
仪器参数
1）二次电子分辨率：1.0 nm(15 kV)；2.0 nm(1 kV)；2）背散射电子分辨率：3.0 nm (15 kV)；3）电子枪：冷场发射电子源；
4）加速电压：0.5 ~ 30 kV（0.1 kV/步，可变）；5）放大倍率：×30 ~ × 800,000；
6）X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92；
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