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高分辨场发射扫描电子显微镜
中国科学院长春应用化学研究所
蔡司，Merlin
吉林省
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检测范围

利用聚焦电子束与样品表面作用产生的二次电子、背散射电子等物理信号得到表面形貌图像以及样品相关信息。适用于分析和观察样品表面及近表面形貌及结构

仪器参数

1）分辨率：0.8-1.0 nm （15 KV），1.2-2.0nm（1KV）； 2）加速电压：0.1-30KV； 3）束流强度: 1pA-100nA； 4) 探测器：二次电子探测器； 5) 样品台：5轴马达驱动
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