光学轮廓仪(3D Optical Microscope)
北京科技大学
BRUKER NANO INC.,Contour GTK
北京市
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检测范围

实现二维和三维的数据分析及可视化功能

仪器参数

采用非接触、三维、白光扫描干涉仪进行闭环扫描,Z方向测试范围 0?.01nm 到10mm, Z方向分辨率0.01nm,RMS重现性 ≤0.01nm。台阶测量精度:≤0.75%;扫描速度:≥45μm/sec,横向分辨率:0.38~9.5μm,样品反射率适用范围:0.05% - 100%,最大适用样品高度:100mm。
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