高分辨场发射扫描电子显微镜(SEM)
华南理工大学
卡尔蔡司公司,MERLIN,无
广东省
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检测范围

材料表面微区形貌观察

仪器参数

分辨率:0.8nm@15kV,加速电压0.02-30kV,束流10pA-300nA
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