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三离子束切割仪(Ion beam cutting)
华南理工大学
徕卡，3X
广东省
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检测范围

用于扫描电镜制样

仪器参数

"离子枪类型：鞍式离子枪，3只，每只离子枪拥有独立电源控制
*1.2离子束能量：1keV-10keV
1.3离子束电流及密度：0.5-4.5mA；0.1mA步长调节（单个离子枪）；10mA/cm2（单个离子枪）
1.4离子枪控制：电源及离子源为独立控制，可任意选择工作离子枪
*1.5离子束直径（半高宽）：0.8mm@10kV,  2.5mm@2kV
1.6最大离子束切割速率：2.5μm/m(100%Si:10keV,3.5mA)
"
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