检测范围
主要用于直接观察样品表面的形貌、形态图像、形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸),显示化学成分的空间变化，样品可在样品室中作三度空间的平移和旋转，可从各种角度对样品进行观察，还可以对样品进行成分分析。应用于各种材料的形貌组织观察，断口分析、微形貌尺寸测量。
仪器参数
二次电子分辨率：3.0nm/30kv，7.0nm/3kv；背散射电子分辨率：4.0nm/30kv，10.0nm/5kv；放大倍数：7-800000x；加速电压：0.3-30kv；可变压力范围：6-650Pa；仪器种类：钨灯丝；物镜光阑：4孔可动光阑；涡轮分子泵：210L/s；机械泵：135L/min；最大样品尺寸：直径200mm；X:0-100mm，Y:0-50mm，Z:5-65mm，R：360°,T：-20°-90°；可观察区域：直径130mm；最大样品高度：80mm。
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