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高反射车削铝太阳镜镀膜机
哈尔滨工业大学
沈阳科友真空技术研究所，JZF1000
黑龙江省
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仪器参数

真空度高达1×10ˉ4Pa，真空室内部有效尺寸：2000（长）×1200（宽）×760（高）（mm） 样品      加热≥350゜C，20KWDC稳流溅射电源、脉冲偏压电源0—300V，频率40KHZ，最大功率1KW，膜厚实时监测精度  均为1nm。
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