多靶位磁控共溅射仪-测试100仪器共享平台

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多靶位磁控共溅射仪(Magnetron Sputtering System)
所在单位：	华南理工大学
品牌/型号：	Kurt J.LESKER Company，LAB Line
所在地区：	广东省
仪器说明：	我们目前尚未与华南理工大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

所有仪器

用于制备金属、半导体、绝缘体等薄膜

3个射频电源，最大功率300W；1个脉冲直流电源，最大功率1000 W；基片台最大可升温至550℃

国家重点研发计划(2016YFB0401504和2016YFF0203603)、国家重点基础研究发展规划项目计划(973计划, 项目编号: 2015CB655004)、广东省自然科学基金资助项目(2016A030313459)

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